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| URE—2000/17型紫外光刻机 |
| 2009-11-25 | 作者： | 【大 中 小】【打印】【关闭】 阅读次数： |
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技术特点：
采用双目双视场显微镜对准；球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。
主要技术指标：
★ 曝光面积：ф100mm；
★ 分辨力： 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）；
★ 对准精度： ±1µm；
★ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm；
★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
★ 样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
★ 照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）；
★ 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
★ 汞灯功率：200W（直流）；★曝光方式：定时（倒计时方式）。
联系人:胡主任、唐主任
电话:85101784、85100564 |
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URE-2000-17型光刻机.jpg
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