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| URE—2000/25型紫外光刻机 |
| 2009-11-25 | 作者： | 【大 中 小】【打印】【关闭】 阅读次数： |
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技术特点：
球气浮实现高精度调平；超精密手轮对准调节，单片机控制,触摸开关操作；整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比。
主要技术指标：
★ 曝光面积：100mm×100mm；
★ 分辨力： 1.5µm（胶厚2µm的正胶）；
★ 对准精度：±0.8µm；
★ 照明均匀性：±4%（ф100mm 范围）；
★ 掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y:±5mm; θ:±6°；
★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
★ 样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、厚度0.1mm--6mm；
★ 汞灯功率：200W（直流）； ★ 曝光方式：定时（倒计时方式）。
联系人:胡主任、唐主任
电话:85101784、85100564 |
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URE-2000-25型紫外光刻机.jpg
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