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论文编号:
作者: Wang, DJ; Yao, J; Qiu, CK; et al.
刊物名称: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
所属学科:
论文题目英文: Silicon-on-insulation-based deformable mirror array for adaptive optics
年: 2009
卷: 27
期: 3
页: 1291-1294
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收录类别: SCI
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