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专利库
专利名称: 一种针对离子束牺牲层中高频误差抑制加工的复合牺牲层加工方法
英文名称:
专利类别: 发明专利
申请号: CN104608024A
申请日期: 2015.01.22
授权日期:
专利号:
第一发明人: 施春燕;许力超;张亮;张凌
其它发明人: 施春燕;许力超;张亮;张凌
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况: 公开
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
   

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