2009年8月6日，科技部高新司戴国强副司长、周平处长在四川省科技厅谭开林副厅长、程毅敏调研员等人的陪同下，莅临我所视察工作。 

　　 会上张雨东所长汇报了我所承担国家重大科研项目的情况，介绍了我所为承担国家“十二五”重要科研项目所做的技术储备，以及我所对重点学科领域前沿探索的部署。随后，微细加工光学国家重点实验室主任罗先刚研究员汇报了我所在新一代光学光刻关键技术方面的研究进展。戴司长一行还参观了表面等离子体超衍射光学光刻实验室，实验人员现场演示了50nm线宽线条的光刻实验。