近日,成都电视台《成视新闻》栏目组来到中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室,对实验室打造“大国重器”,同时带动产业、惠及民生等科技创新驱动发展情况进行详细报道。
光电所微细加工光学技术国家重点实验室研制出来的SP光刻机是世界上第一台单次成像达到22纳米的光刻机,结合多重曝光技术,可以用于制备10纳米以下的信息器件。这不仅是世界上光学光刻的一次重大变革,也将加快推进工业4.0,实现中国制造2025的美好愿景。
长期以来,我国的光刻技术落后于先进国家,成为我国工业现代化进程的一块短板。2006年,科技部提出了光刻技术的中长期规划,希望中科院的国家重点实验室,能找到一条绕开国外技术壁垒,具有自主知识产权的光刻路径。光电所SP光学光刻机就是绕开了传统的193纳米曝光的技术路线,利用长波长光源也可以得到一个突破衍射极限的分辨率的图形,所以在成本上安全性方面上都会有一个很大的提升,是完全具有知识产权的原创性技术。
[video:成视新闻(光电所造世界首台sp光刻样机)]