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新闻动态

  • 光电所在薄膜体系光学传输的理论研究中取得一系列进展

      中国科学院光电技术研究所薄膜技术研究室在从事先进镀膜技术研究的同时,积极探索新颖薄膜体系中的光...

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    112016-04
  • 【科技日报】紫外纳米压印光刻机提升我国微纳级制造业能力

      科技日报讯 (杨勇 记者盛利)记者日前从中科院光电技术研究所获悉,该所微电子专用设备研发团队已...

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    072016-04
  • 【科技日报】紫外纳米压印光刻机提升我国微纳级制造业能力

      科技日报讯 (杨勇 记者盛利)记者日前从中科院光电技术研究所获悉,该所微电子专用设备研发团队已...

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    012016-06
  • 光电所光电测量设备“护送”我国首颗微重力科学实验卫星升空

      4月6日1时38分,我国首颗微重力科学实验卫星——实践十号返回式科学实验卫星,在酒泉卫星发射中心由...

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    072016-04
  • 光电所在半导体材料特性测量技术方面取得进展

      半导体材料是微电子器件和光伏器件的基础材料,其杂质和缺陷特性严重影响器件性能。随着微电子器件...

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    052016-04
  • 光电所新型光刻机提升我国微纳实用制造水平

      近日,中科院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在微纳制作设备领域再次发力,自主研制成功紫外...

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    012016-04

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